{"id":286310,"date":"2026-05-14T10:00:00","date_gmt":"2026-05-14T14:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/apimetrology.com\/?p=286310"},"modified":"2026-10-02T11:46:34","modified_gmt":"2026-10-02T15:46:34","slug":"laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/","title":{"rendered":"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen"},"content":{"rendered":"

Warum Lithografiemaschinenbasen so anspruchsvoll sind<\/h2>\n

In der Halbleiterfertigung l\u00e4sst Lithografieausr\u00fcstung praktisch keinen Spielraum f\u00fcr eine instabile Grundlage. Die Maschine projiziert Strukturen im Nanometerbereich auf Wafer, und ihre physische Basis muss eine pr\u00e4zise Referenzgeometrie bewahren, w\u00e4hrend sie mehrere Tonnen Anlagengewicht tr\u00e4gt.<\/p>\n

Damit ist die Basis mehr als eine Tragstruktur. Sie ist Teil der Genauigkeitskette der Maschine. Schon geringe Neigung, Setzung oder Verformung kann zu einem Ausrichtungsfehler im Lithografieprozess werden. Das kann die Ausbeute senken, die Prozessleistung beeintr\u00e4chtigen oder empfindliche Ausr\u00fcstung gef\u00e4hrden.<\/p>\n

F\u00fcr Installationsteams ist die Messaufgabe klar: Basisoberfl\u00e4che, Bohrungspositionen und die Beziehungen zwischen mehreren Basissektionen m\u00fcssen mit ausreichender Genauigkeit verifiziert werden, damit die finale Justage und Abnahme belastbar sind.<\/p>\n

Was gepr\u00fcft werden muss<\/h2>\n

Eine Pr\u00fcfung von Lithografiemaschinenbasen konzentriert sich in der Regel auf drei Bereiche.<\/p>\n

Zuerst kommt die Ebenheit der Basisoberfl\u00e4che. Sie dient als Nullreferenz f\u00fcr die Installation und muss h\u00e4ufig Ebenheitsanforderungen im Mikrometerbereich erf\u00fcllen, damit die F\u00fchrungen der Maschine ihre geforderte Geradheit und Nivellierung erreichen.<\/p>\n

Der zweite Bereich ist die Geometrie und Lage der Bohrungen. Gewindebohrungen und Passstiftbohrungen befestigen Maschinenk\u00f6rper, Schwingungsisolation und Hilfssysteme. Durchmesser, Rechtwinkligkeit und 3D-Position zur Konstruktionsgeometrie m\u00fcssen innerhalb der Toleranz bleiben. Andernfalls wird die Montage schwieriger oder es entstehen Spannungen im Aufbau.<\/p>\n

Der dritte Bereich ist die Beziehung zwischen mehreren Basissektionen. Gro\u00dfe Lithografiesysteme k\u00f6nnen getrennte Basen f\u00fcr Belichtung, Messung, Wafertransfer und weitere Subsysteme verwenden. Bei der Installation m\u00fcssen Abstand, Parallelit\u00e4t, H\u00f6hendifferenz und Gesamtposition kontrolliert werden, damit diese getrennten Strukturen wie eine gemeinsame steife Plattform arbeiten.<\/p>\n

Wo traditionelle Methoden an Grenzen sto\u00dfen<\/h2>\n

Elektronische Nivelliere, Mikrometer, Theodolite und Koordinatenmessger\u00e4te k\u00f6nnen alle eine Rolle in der Pr\u00e4zisionsmessung spielen. F\u00fcr gro\u00dfe, hochgenaue Installationen dieser Art sind sie jedoch nicht ideal.<\/p>\n

Sie sind oft langsam, besonders wenn eine gro\u00dfe Basisoberfl\u00e4che Punkt f\u00fcr Punkt gemessen werden muss. Au\u00dferdem k\u00f6nnen Datumprobleme entstehen, wenn Ebenheit und Bohrungspositionen separat gepr\u00fcft werden. Bei der Justage mehrerer Basen ist es mit traditionellen Methoden schwer, die gesamte r\u00e4umliche Beziehung in einem Koordinatensystem zu sehen, w\u00e4hrend die Anpassungen laufen.<\/p>\n

Das Ergebnis sind h\u00e4ufig wiederholte Schleifen aus Pr\u00fcfung, Justage und Nachpr\u00fcfung. Dieses Vorgehen kann funktionieren, kostet aber Zeit und liefert weniger vollst\u00e4ndige 3D-Daten f\u00fcr Analyse, Bericht und R\u00fcckverfolgbarkeit.<\/p>\n

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Abbildung 1: API Radian Laser Tracker-Serie, darunter Radian Plus, Radian Pro, Radian Core und iLT.<\/figcaption><\/figure>\n

Wie der Radian Laser Tracker hilft<\/h2>\n

Der API Radian Laser Tracker<\/a> gibt Installationsteams eine praktische M\u00f6glichkeit, diese Pr\u00fcfungen in ein gemeinsames globales Koordinatensystem zu bringen. Ebenheit, Bohrungsposition und Basis-zu-Basis-Ausrichtung werden nicht mehr als getrennte Aufgaben behandelt, sondern gegen dieselbe Referenz gemessen und ausgewertet.<\/p>\n

Das ist wichtig, weil Lithografiemaschinenbasen gro\u00df sind, ihre Toleranzen aber eng bleiben. Die Radian-Serie bietet r\u00e4umliche Messgenauigkeit im Mikrometerbereich, einen Messradius von mehr als 80 Metern und Datenerfassungsraten bis zu 1000 Hz. Diese Kombination deckt die Basisfl\u00e4che schnell ab und h\u00e4lt die n\u00f6tige Genauigkeit \u00fcber gr\u00f6\u00dfere Distanzen.<\/p>\n

Der gr\u00f6\u00dfere Vorteil liegt im Echtzeit-Feedback. W\u00e4hrend der Justage kann der Tracker die Differenz zwischen gemessenem Punkt und theoretischer Position anzeigen, w\u00e4hrend der Bediener das Bauteil noch bewegt. Statt erst zu messen, sp\u00e4ter zu justieren und danach erneut zu pr\u00fcfen, kann das Team die Anpassung live f\u00fchren.<\/p>\n

\"Abbildung
Abbildung 2: Messaufbau vor Ort f\u00fcr die Pr\u00fcfung der Lithografiemaschinenbasis.<\/figcaption><\/figure>\n

Der Pr\u00fcfablauf<\/h2>\n

Der Radian Laser Tracker wird am Installationsort auf einem stabilen Fundament oder Stativ aufgebaut, mit Sichtlinie zu den Basissektionen und Messpunkten. Danach richtet das Team das erste Koordinatensystem f\u00fcr die Pr\u00fcfung ein.<\/p>\n

Ein Bediener erfasst dann Punkte auf der Basis mit einer hochpr\u00e4zisen SMR-Zielkugel. Der Tracker verfolgt den Mittelpunkt des Ziels in Echtzeit und \u00fcbergibt 3D-Koordinaten an die Messsoftware. F\u00fcr die Ebenheitspr\u00fcfung kann der Bediener einen Messpfad \u00fcber die Basisoberfl\u00e4che planen und kontinuierliche Punktdaten erfassen. F\u00fcr die Bohrungspr\u00fcfung wird die SMR in einem speziellen Pin-Sitz platziert, damit Bohrungswand, Position und Gr\u00f6\u00dfe ausgewertet werden k\u00f6nnen.<\/p>\n

So entstehen die Daten, die f\u00fcr Bohrungsmitten, Durchmesser, Umfang und Positionsfehler kritischer Passstift- und Gewindebohrungen erforderlich sind.<\/p>\n

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Abbildung 3: Weitere Ansicht des Messortes aus der Fallstudie.<\/figcaption><\/figure>\n

Messdaten in Entscheidungen umwandeln<\/h2>\n

Sobald die Daten in Software wie SpatialAnalyzer, PolyWorks, Verisurf, Metrolog oder MeasurePro vorliegen, kann das Team alles im selben Koordinatensystem analysieren.<\/p>\n

F\u00fcr die Basisoberfl\u00e4che passt die Software die gemessenen Punkte an eine Ebene an und erstellt eine Konturdarstellung mit Ebenheitsfehlern, hohen Bereichen und niedrigen Bereichen. F\u00fcr Bohrungspositionen passt die Software die gemessene Geometrie ein und berechnet X-, Y- und Z-Abweichungen f\u00fcr jedes Merkmal. Tabellen und farbige Abweichungskarten machen auff\u00e4llige Merkmale schnell sichtbar.<\/p>\n

Dieselben Daten unterst\u00fctzen auch die formale Dokumentation. Ebenheitsanalyse, Listen von Bohrungsabweichungen, 3D-Abweichungskarten und weitere Aufzeichnungen k\u00f6nnen f\u00fcr Abnahmeunterlagen und sp\u00e4tere Referenz archiviert werden.<\/p>\n

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Abbildung 4: Messdaten und Analyse aus dem Pr\u00fcfablauf.<\/figcaption><\/figure>\n

Echtzeit-Justage der Basis<\/h2>\n

Dasselbe Messsystem kann auch die finale Justage mehrerer Basissektionen unterst\u00fctzen. Der Tracker bringt zentrale Referenzpunkte jeder Basis in ein Koordinatensystem. Wenn die Sollkoordinaten geladen sind, kann die Software die Istposition jeder Sektion gegen ihre Zielposition in Echtzeit darstellen.<\/p>\n

Diese Live-Ansicht kann Delta X, Delta Y, Delta Z, Nickwinkel und weitere Ausrichtungswerte umfassen. Bediener k\u00f6nnen dann Stellschrauben, Keilscheiben oder andere Pr\u00e4zisionsmechanismen bewegen und direkt sehen, wie die Abweichung kleiner wird. Aus einzelnen Pr\u00fcfschritten wird ein geschlossener Justageprozess.<\/p>\n

Das Ergebnis<\/h2>\n

Diese Fallstudie zeigt, warum Laser-Tracker-Messung so gut zur Installation von Halbleiterausr\u00fcstung passt. Lithografiemaschinenbasen verlangen gro\u00dfr\u00e4umige Messung, enge Toleranzen, eine einheitliche Referenz und schnelles Feedback w\u00e4hrend der Justage. Der Radian Laser Tracker f\u00fchrt diese Anforderungen in einem Ablauf zusammen.<\/p>\n

F\u00fcr Halbleiterhersteller und Installationsteams bedeutet das schnellere Inbetriebnahme, bessere Kontrolle der Basisgeometrie, klarere Dokumentation und mehr Sicherheit, bevor die Lithografiemaschine in Betrieb geht.<\/p>\n

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Abbildung 5: API Unternehmenszentrale.<\/figcaption><\/figure>\n

Weitere Informationen zur Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen erhalten Sie, wenn Sie API Metrology kontaktieren<\/a>.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Lithografiemaschinenbasen brauchen eine stabile Referenzgeometrie und Ausrichtung im Mikrometerbereich. Diese Fallstudie zeigt, wie der API Radian Laser Tracker Halbleiterteams bei Pr\u00fcfung, Justage und Dokumentation der Basisinstallation unterst\u00fctzt.<\/p>\n","protected":false},"author":18,"featured_media":286304,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[58,131],"tags":[],"class_list":["post-286310","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-fallstudie","category-laser-tracker-de"],"yoast_head":"\nLithografiemaschinenbasis mit Radian pr\u00fcfen | API<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"API Metrology\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/apimetrology\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2026-05-14T14:00:00+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2026-10-02T15:46:34+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"480\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"270\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"Steve Oliver\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Verfasst von\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"Steve Oliver\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"6 Minuten\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"Steve Oliver\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/8982fe1e65704939ac524f89dee7cb10\"},\"headline\":\"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen\",\"datePublished\":\"2026-05-14T14:00:00+00:00\",\"dateModified\":\"2026-10-02T15:46:34+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/\"},\"wordCount\":995,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/05\\\/header-featured-de-1.jpg\",\"articleSection\":[\"Fallstudie\",\"Laser Tracker\"],\"inLanguage\":\"de-DE\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/\",\"name\":\"Lithografiemaschinenbasis mit Radian pr\u00fcfen | API\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/05\\\/header-featured-de-1.jpg\",\"datePublished\":\"2026-05-14T14:00:00+00:00\",\"dateModified\":\"2026-10-02T15:46:34+00:00\",\"description\":\"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"de-DE\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de-DE\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/05\\\/header-featured-de-1.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/05\\\/header-featured-de-1.jpg\",\"width\":480,\"height\":270,\"caption\":\"header-featured-de\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/willkommen-bei-api\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/\",\"name\":\"API Metrology\",\"description\":\"Laser Tracker, Machine Tool and Robot Calibration Equipment Supplier\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"de-DE\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#organization\",\"name\":\"API Metrology\",\"url\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de-DE\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2018\\\/11\\\/API-logo.png\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2018\\\/11\\\/API-logo.png\",\"width\":1080,\"height\":699,\"caption\":\"API Metrology\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"},\"sameAs\":[\"https:\\\/\\\/www.facebook.com\\\/apimetrology\\\/\",\"https:\\\/\\\/www.linkedin.com\\\/company\\\/apimetrology\\\/\",\"https:\\\/\\\/www.youtube.com\\\/@AutomatedPrecision\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/apimetrology.com\\\/de\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/8982fe1e65704939ac524f89dee7cb10\",\"name\":\"Steve Oliver\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de-DE\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"Steve Oliver\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO Premium plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"Lithografiemaschinenbasis mit Radian pr\u00fcfen | API","description":"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/","og_locale":"de_DE","og_type":"article","og_title":"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen","og_description":"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.","og_url":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/","og_site_name":"API Metrology","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/apimetrology\/","article_published_time":"2026-05-14T14:00:00+00:00","article_modified_time":"2026-10-02T15:46:34+00:00","og_image":[{"width":480,"height":270,"url":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"Steve Oliver","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Verfasst von":"Steve Oliver","Gesch\u00e4tzte Lesezeit":"6 Minuten"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/"},"author":{"name":"Steve Oliver","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#\/schema\/person\/8982fe1e65704939ac524f89dee7cb10"},"headline":"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen","datePublished":"2026-05-14T14:00:00+00:00","dateModified":"2026-10-02T15:46:34+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/"},"wordCount":995,"publisher":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg","articleSection":["Fallstudie","Laser Tracker"],"inLanguage":"de-DE"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/","url":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/","name":"Lithografiemaschinenbasis mit Radian pr\u00fcfen | API","isPartOf":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg","datePublished":"2026-05-14T14:00:00+00:00","dateModified":"2026-10-02T15:46:34+00:00","description":"Der API Radian Laser Tracker hilft, Lithografiemaschinenbasen bei Installation, Bohrungspr\u00fcfung und Echtzeit-Justage pr\u00e4zise zu vermessen.","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#breadcrumb"},"inLanguage":"de-DE","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de-DE","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#primaryimage","url":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg","contentUrl":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/header-featured-de-1.jpg","width":480,"height":270,"caption":"header-featured-de"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/laser-tracker-pruefung-lithografiemaschinen-basis-installation\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/willkommen-bei-api\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Laser-Tracker-Pr\u00fcfung bei der Installation von Lithografiemaschinenbasen"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#website","url":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/","name":"API Metrology","description":"Laser Tracker, Machine Tool and Robot Calibration Equipment Supplier","publisher":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"de-DE"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#organization","name":"API Metrology","url":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de-DE","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/API-logo.png","contentUrl":"https:\/\/apimetrology.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/API-logo.png","width":1080,"height":699,"caption":"API Metrology"},"image":{"@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/apimetrology\/","https:\/\/www.linkedin.com\/company\/apimetrology\/","https:\/\/www.youtube.com\/@AutomatedPrecision"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/#\/schema\/person\/8982fe1e65704939ac524f89dee7cb10","name":"Steve Oliver","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de-DE","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/d9f9f40e0e66fb889e66074409fbdf283fb0ab25141a9537c5a7d0d03318f168?s=96&d=mm&r=g","caption":"Steve Oliver"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/286310","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/18"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=286310"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/286310\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":287463,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/286310\/revisions\/287463"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/286304"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=286310"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=286310"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/apimetrology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=286310"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}