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공작기계 가이드웨이 직진도 측정: 주요 방법 비교
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리소그래피 장비 베이스는 안정적인 기준 형상과 마이크론 수준의 정렬이 필요합니다. 이 사례 연구는 API Radian 레이저 트래커가 반도체 장비 설치 현장에서 베이스 검사, 조정, 문서화를 어떻게 지원하는지 보여줍니다.
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